实验室气体的危险性
1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等强烈化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15MPa,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的高新技术产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。系统采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式输气方式,在一拖多时能够实现分段控制和在多拖一和多拖多时能够实现切换控制。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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氦质谱检漏仪
真空检漏的方法很多,氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中;
漏率(漏气速率):是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;
1小可检漏率:是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率;
检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率;
反应时间:也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间;
消除时间:是指从检漏方法停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间;
漏孔堵塞现象:指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。
随着科技的迅猛发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的氦质谱检漏仪,广泛应用丁航空航天,电力电子,汽车等各个行业,综观1新氦质谱检漏仪的性能特点发现,氦质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等先进方向发展,这些特点很好地满足了当前检漏应用的需求,也极大地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。特气系统知识分享:一般混合气体由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。
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